Подробное описание документа

   Исследование метрологических характеристик измерительного сканирующего зондового микроскопа с применением калибровочных решеток типа TGZ / Гоголинский К. В., Губский К. Л., Кузнецов А. П., Решетов В. Н., Маслеников И. И., Голубев С. С., Лысенко В. Г., Румянцев С. И. // Измерительная техника. - 2012. - № 4. - С. 18-21.

УДК

53.08 Общие основы и теория измерений. Конструкции и детали измерительных приборов. Методы измерения. Наблюдение и регистрация результатов измерения

Авторы МГТУ

• Кузнецов Александр Павлович
• Лысенко Валерий Григорьевич

Статья опубликована в следующих изданиях