Подробное описание документа

Журнал

Наноинженерия.
№ 11. - 2012.

Читать онлайн

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Содержание

с. 29-37

Статья

Цветков Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 2. Часть III / Цветков Ю. Б.

подробнее