Подробное описание документа

Статья

Цветков Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 2. Часть III / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 11. - С. 29-37.

УДК
378.2 Присвоение квалификации. Подготовка научных кадров

Авторы МГТУ

Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 29-37

Журнал

Наноинженерия.
№ 11. - 2012.

подробнее