Подробное описание документа
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 1. - 2013.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
-
Преподавательский абонемент ауд.313,
ГУК, ауд. 313
-
Читальный зал ауд.313,
ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 15-20
Статья в журнале
Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов / Вишневский А. С., Воротилов К. А., Жигалина О. М., Ланцев А. Н., Подгорный Ю. В., Серегин Д. С.