Подробное описание документа

Статья

Исследование влияния структуры нижнего электрода на свойства пленок ЦТС, сформированных методом химического осаждения из растворов / Вишневский А. С., Воротилов К. А., Жигалина О. М., Ланцев А. Н., Подгорный Ю. В., Серегин Д. С. // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 1. - С. 15-20.