Подробное описание документа
Статья
Панфилов Ю. В.
Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть II. Конспект лекций / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 6. -
620.3 Нанотехнология
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 20-27
Журнал
Наноинженерия.
№ 6. - 2012.
№ 6. - 2012.