Подробное описание документа

   Статья

Цветков Ю. Б.
   Процессы и оборудование микротехнологии. Введение. Конспект лекций / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2012. - № 4. - С. 27-32.

УДК

620.3 Нанотехнология

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 27-32

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 4. - 2012.

подробнее