Подробное описание документа

Журнал

Наноинженерия.
№ 4. - 2012.

Читать онлайн

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Содержание

с. 14-27

Статья

Панфилов Ю. В.
Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть I. Конспект лекций / Панфилов Ю. В.

подробнее

с. 27-32

Статья

Цветков Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии. Введение. Конспект лекций / Цветков Ю. Б.

подробнее