Подробное описание документа

Журнал

Наноинженерия.
№ 9. - 2013.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 3-6

Статья

Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В.
Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В.

подробнее

с. 16-21

Статья

Малофеев К. В., Малышев К. В.
Исследование терагерцового квантового каскадного лазера на основе слоистых алюминий—галлий—арсеникум наноструктур / Малофеев К. В., Малышев К. В.

подробнее