Подробное описание документа

Оглавление

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 9. - 2013.

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 3-6

   Статья в журнале

Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В.
   Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В.

подробнее

с. 16-21

   Статья в журнале

Малофеев К. В., Малышев К. В.
   Исследование терагерцового квантового каскадного лазера на основе слоистых алюминий—галлий—арсеникум наноструктур / Малофеев К. В., Малышев К. В.

подробнее