Подробное описание документа

   Статья

Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В.
   Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 9. - С. 3-6.

УДК

621.793.06 Машины и оборудование. Конструкция и принцип работы в целом

Авторы МГТУ

• Куликов Игорь Николаевич
• Рябов Владимир Тимофеевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 3-6

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 9. - 2013.

подробнее