Подробное описание документа
Статья
Куликов И. Н.
Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 9. -
621.793.06 Машины и оборудование. Конструкция и принцип работы в целом