Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В.
   Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 9. - С. 3-6.

621.793.06 Машины и оборудование. Конструкция и принцип работы в целом

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 3-6
   Журнал
   Наноинженерия.
   № 9. - 2013.