Подробное описание документа

   Алгоритм модификации топологического слоя СБИС структурами заполнения на основе моделирования химико-механической планаризации / Амирханов А. В., Гладких А. А., Макарчук В. В., Столяров А. А., Шахнов В. А. // Микроэлектроника. - 2013. - Т. 42, № 6. - С. 463-471.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

• Гладких Алексей Алексеевич
• Макарчук Владимир Васильевич
• Столяров Александр Алексеевич
• Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях