Подробное описание документа

Оглавление

   Журнал

   Микроэлектроника.
   Т. 42, № 6. - 2013.

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 463-471

   Статья в журнале

   Алгоритм модификации топологического слоя СБИС структурами заполнения на основе моделирования химико-механической планаризации / Амирханов А. В., Гладких А. А., Макарчук В. В., Столяров А. А., Шахнов В. А.

подробнее

с. 427-439

   Статья в журнале

Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Верстов В. А.
   Трансформация топологии субмикронных СБИС для технологии двойного шаблона / Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Верстов В. А.

подробнее