Подробное описание документа

Журнал

Микроэлектроника.
Т. 42, № 6. - 2013.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 463-471

Статья

Алгоритм модификации топологического слоя СБИС структурами заполнения на основе моделирования химико-механической планаризации / Амирханов А. В., Гладких А. А., Макарчук В. В., Столяров А. А., Шахнов В. А.

подробнее

с. 427-439

Статья

Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Верстов В. А.
Трансформация топологии субмикронных СБИС для технологии двойного шаблона / Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Верстов В. А.

подробнее