Подробное описание документа

Статья

Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Верстов В. А.
Трансформация топологии субмикронных СБИС для технологии двойного шаблона / Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Верстов В. А. // Микроэлектроника. - 2013. - Т. 42, № 6. - С. 427-439.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

Шахнов Вадим Анатольевич

Зинченко Людмила Анатольевна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 427-439

Журнал

Микроэлектроника.
Т. 42, № 6. - 2013.

подробнее