Подробное описание документа

   Статья

Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Верстов В. А.
   Трансформация топологии субмикронных СБИС для технологии двойного шаблона / Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Верстов В. А. // Микроэлектроника. - 2013. - Т. 42, № 6. - С. 427-439.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

• Шахнов Вадим Анатольевич
• Зинченко Людмила Анатольевна
• Верстов Владимир Александрович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 427-439

   Журнал

   Микроэлектроника.
   Т. 42, № 6. - 2013.

подробнее