Подробное описание документа

Статья

Цветков Ю. Б.
Микро- и нанолитография: сущность и основные этапы процесса / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2013. - № 11. - С. 39-47.

УДК
372.8 Преподавание отдельных учебных предметов

Авторы МГТУ

Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 39-47

Журнал

Наноинженерия.
№ 11. - 2013.

подробнее