Подробное описание документа

   Статья

Цветков Ю. Б.
   Микро- и нанолитография: сущность и основные этапы процесса / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2013. - № 11. - С. 39-47.

УДК

372.8 Преподавание отдельных учебных предметов

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 39-47

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 11. - 2013.

подробнее