Подробное описание документа

Журнал

Наноинженерия.
№ 11. - 2013.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 7-18

Статья

Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
Выбор типа вакуумного нанотехнологического оборудования по критерию заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.

подробнее

с. 39-47

Статья

Цветков Ю. Б.
Микро- и нанолитография: сущность и основные этапы процесса / Цветков Ю. Б.

подробнее

с. 35-38

Статья

Исследование физико-химических параметров алмазоподобных покрытий, полученных методами электродугового физического осаждения с сепарацией плазмы / Башков В. М., Беляева А. О., Седых Н. С., Токарев Д. А.

подробнее