Подробное описание документа
Статья
Исследование физико-химических параметров алмазоподобных покрытий, полученных методами электродугового физического осаждения с сепарацией плазмы / Башков В. М., Беляева А. О., Седых Н. С., Токарев Д. А. // Наноинженерия. - 2013. - № 11. -
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 35-38
Журнал
Наноинженерия.
№ 11. - 2013.
№ 11. - 2013.