Подробное описание документа
Журнал
Наноинженерия.
№ 12. - 2013.
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 21-26
Статья
Колесник Л. Л.
Реализация удаленного доступа к технологическому оборудованию на примере создания научно-учебного комплекса для изучения процессов формирования тонкопленочных покрытий / Колесник Л. Л.
Реализация удаленного доступа к технологическому оборудованию на примере создания научно-учебного комплекса для изучения процессов формирования тонкопленочных покрытий / Колесник Л. Л.
с. 36-39
Статья
Исследование процесса нанесения тонких пленок на наноструктурированную поверхность / Беседина К. Н., Вострикова А. В., Двухшерстова О. О., Калинин В. Н., Панфилова Е. В.