Подробное описание документа

   Статья

   Исследование процесса нанесения тонких пленок на наноструктурированную поверхность / Беседина К. Н., Вострикова А. В., Двухшерстова О. О., Калинин В. Н., Панфилова Е. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 12. - С. 36-39.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Авторы МГТУ

• Беседина Ксения Николаевна
• Панфилова Екатерина Вадимовна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 36-39

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 12. - 2013.

подробнее