Подробное описание документа

   Статья

Цветков Ю. Б.
   Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 3. Конспект лекций / Цветков Ю. Б. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. - С. 41-47.

УДК

372.8 Преподавание отдельных учебных предметов

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 41-47

   Журнал

   Наноинженерия.
   № 6. - 2013.

подробнее