Подробное описание документа

Журнал

Наноинженерия.
№ 6. - 2013.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 15-20

Статья

Панфилов Ю. В.
Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В.

подробнее

с. 41-47

Статья

Цветков Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии. Модуль 3. Конспект лекций / Цветков Ю. Б.

подробнее

с. 36-40

Статья

Башков В. М., Кожина Т. Д., Панфилов Ю. В.
Переподготовка специалистов в области термобарьерных наноструктурированных покрытий / Башков В. М., Кожина Т. Д., Панфилов Ю. В.

подробнее