Подробное описание документа
Журнал
Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.
№ 3. - 2014.
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 68-73
Статья
Кристя В. И., Йе Наинг Тун
Расчет вклада ионов и быстрых атомов в неоднородность распыления мишени с поверхностным рельефом в тлеющем разряде / Кристя В. И., Йе Наинг Тун
Расчет вклада ионов и быстрых атомов в неоднородность распыления мишени с поверхностным рельефом в тлеющем разряде / Кристя В. И., Йе Наинг Тун