Подробное описание документа

Статья

Кристя В. И., Йе Наинг Тун
Расчет вклада ионов и быстрых атомов в неоднородность распыления мишени с поверхностным рельефом в тлеющем разряде / Кристя В. И., Йе Наинг Тун // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2014. - № 3. - С. 68-73.

УДК
539.186 Взаимовозбуждение и взаимодействие между атомами

Авторы МГТУ

Кристя Владимир Иванович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 68-73

Журнал

Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.
№ 3. - 2014.

подробнее