Подробное описание документа

Статья

Панфилов Ю. В.
Вакуумные технологии и нанотехнологии ( аналитический обзор материалов ХХ юбилейной научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника», сентябрь, Крым, Гаспра) / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2014. - № 3. - С. 43-48.

УДК
621.52 Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы

Авторы МГТУ

Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 43-48

Журнал

Наноинженерия.
№ 3. - 2014.

подробнее