Подробное описание документа
Статья
Комшин А. С.
Метрологическое обеспечение нанотехнологий в промышленных условиях / Комшин А. С., Сырицкий А. Б. // Наноинженерия. - 2014. - № 4. -
531.717 Измерение толщины, диаметра, высоты, глубины, наклона, плоскостности, параллельности, зазоров (промежутков), межосевых (межцентровых) расстояний, шероховатости (неровности) поверхности