Подробное описание документа

Комшин А. С., Сырицкий А. Б.
   Метрологическое обеспечение нанотехнологий в промышленных условиях / Комшин А. С., Сырицкий А. Б. // Наноинженерия. - 2014. - № 4. - С. 14-19.

УДК

531.717 Измерение толщины, диаметра, высоты, глубины, наклона, плоскостности, параллельности, зазоров (промежутков), межосевых (межцентровых) расстояний, шероховатости (неровности) поверхности

Авторы МГТУ

• Комшин Александр Сергеевич
• Сырицкий Антони Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях