Подробное описание документа
Статья
Панфилов Ю. В.
Вакуумные технологии в производстве наноструктурированных материалов / Панфилов Ю. В. // Вакуумная техника и технология. - 2011. - Т. 21, № 2. -
533.599 Вакуумные установки
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 74-75
Журнал
Вакуумная техника и технология.
Т. 21, № 2. - 2011.
Т. 21, № 2. - 2011.