Подробное описание документа

   Статья

Панфилов Ю. В.
   Вакуумные технологии в производстве наноструктурированных материалов / Панфилов Ю. В. // Вакуумная техника и технология. - 2011. - Т. 21, № 2. - С. 74-75.

УДК

533.599 Вакуумные установки

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 74-75

   Журнал

   Вакуумная техника и технология.
   Т. 21, № 2. - 2011.

подробнее