Подробное описание документа

Журнал

Наноинженерия.
№ 6. - 2015.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 3-6

Статья

Власов А. И., Пустовалов В. А.
Исследование микроструктуры и качества обработки кварцевых пластин при изготовлении методом ионного планарного утонения / Власов А. И., Пустовалов В. А.

подробнее