Подробное описание документа

Власов А. И., Пустовалов В. А.
   Исследование микроструктуры и качества обработки кварцевых пластин при изготовлении методом ионного планарного утонения / Власов А. И., Пустовалов В. А. // Наноинженерия. - 2015. - № 6. - С. 3-6.

УДК

539.24 Микрофотографические методы анализа микроструктуры твердого тела, субструктуры

Авторы МГТУ

• Власов Андрей Игоревич

Статья опубликована в следующих изданиях