Подробное описание документа
Журнал
Известия ВУЗов. Сер. "Физика". -
Т. 58, № 9. - 2015.
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 99-104
Статья
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Йе Наинг Тун
Влияние неравномерности толщины поверхностной диэлектрической пленки на распыление катода в тлеющем разряде / Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Йе Наинг Тун
Влияние неравномерности толщины поверхностной диэлектрической пленки на распыление катода в тлеющем разряде / Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Йе Наинг Тун