Подробное описание документа
Статья
Бондаренко Г. Г.
Влияние неравномерности толщины поверхностной диэлектрической пленки на распыление катода в тлеющем разряде / Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Йе Наинг Тун // Известия ВУЗов. Сер. "Физика". - 2015. - Т. 58, № 9. -
537.525 Электрические разряды в газах при пониженном давлении. Тлеющие разряды