Подробное описание документа

   Исследование процесса ионного распыления мишени при формировании трибологических нанокомпозитных покрытий / Беликов А. И., Быков Ю. А., Калинин В. Н., Карпухин С. Д., Попова М. Г. // Наноинженерия. - 2015. - № 9. - С. 18-24.

УДК

621.793.182 Катодное распыление

Авторы МГТУ

• Беликов Андрей Иванович
• Быков Юрий Александрович
• Калинин Владимир Николаевич
• Карпухин Сергей Дмитриевич

Статья опубликована в следующих изданиях