Подробное описание документа

Журнал

Наноинженерия.
№ 9. - 2015.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 8-12

Статья

Фотолитография толстых слоев пленочного фоторезиста в полуаддитивной технологии изготовления плат силовых модулей / Боброва Ю. С., Андроник М. М., Щербаков В. И., Китаев И. В.

подробнее

с. 13-17

Статья

Радиационная стойкость микроэлектромеханических систем / Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Терехов В. В., Михайличенко С. С.

подробнее

с. 18-24

Статья

Исследование процесса ионного распыления мишени при формировании трибологических нанокомпозитных покрытий / Беликов А. И., Быков Ю. А., Калинин В. Н., Карпухин С. Д., Попова М. Г.

подробнее

с. 43-47

Статья

Куликов И. Н., Шубников А. В.
Объединенный (интегрированный) онлайн контроль полуфабриката и процесса его производства в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Шубников А. В.

подробнее