Подробное описание документа

Статья

Радиационная стойкость микроэлектромеханических систем / Шахнов В. А., Зинченко Л. А., Терехов В. В., Михайличенко С. С. // Наноинженерия. - 2015. - № 9. - С. 13-17.

УДК
539.16.04 Физические, химические и биологические действия радиоактивности

Авторы МГТУ

Шахнов Вадим Анатольевич

Зинченко Людмила Анатольевна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 13-17

Журнал

Наноинженерия.
№ 9. - 2015.

подробнее