Подробное описание документа

Комшин А. С., Обухов И. В., Сырицкий А. Б.
   Измерения параметров топографии поверхности при помощи сканирующего зондового микроскопа SOLVER P47 : метод. указания к лаб. работе по курсу "Физические основы измерений", "Квантовая метрология" / Комшин А. С., Обухов И. В., Сырицкий А. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во НИИ РЛ МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 36 с. : ил. - Библиогр.: с. 36.

Аннотация

Приведены материалы для решения практических задач в области нанометрологии и изучения топографии поверхности в нанометровом диапазоне размеров для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по специальности «Метрология и метрологическое обеспечение».
Материал может быть полезен аспирантам и специалистам при решении практических измерительных задач.

УДК

620.186:531.728

Предметные рубрики

• Микроскопия электронная - Лабораторная практика

Авторы МГТУ

• Комшин Александр Сергеевич
• Обухов Игорь Васильевич
• Сырицкий Антони Борисович

Общее кол-во в фондах

5 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313