Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Журнал

   Упрочняющие технологии и покрытия.
   № 4. - 2016.

1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 20-24
   Статья
Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
   Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М / Васильев Д. Д., Моисеев К. М.