Подробное описание документа
Журнал
Упрочняющие технологии и покрытия.
№ 4. - 2016.
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 20-24
Статья
Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М / Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М / Васильев Д. Д., Моисеев К. М.