Подробное описание документа

Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
   Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М / Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2016. - № 4. - С. 20-24.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Авторы МГТУ

• Васильев Денис Дмитриевич
• Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях