Подробное описание документа

Журнал

Датчики и системы.
№ 3. - 2016.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 32-39

Статья

Сергеева Н. А., Цивинская Т. А., Шахнов В. А.
Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния для аэрокосмической отрасли / Сергеева Н. А., Цивинская Т. А., Шахнов В. А.

подробнее