Подробное описание документа
Журнал
Датчики и системы.
№ 3. - 2016.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
-
Преподавательский абонемент ауд.313,
ГУК, ауд. 313
-
Читальный зал ауд.313,
ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 32-39
Статья в журнале
Сергеева Н. А., Цивинская Т. А., Шахнов В. А.
Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния для аэрокосмической отрасли / Сергеева Н. А., Цивинская Т. А., Шахнов В. А.