Подробное описание документа

Сергеева Н. А., Цивинская Т. А., Шахнов В. А.
   Контрольно-измерительные МЭМС с использованием малогабаритных чувствительных элементов из монокристаллического кремния для аэрокосмической отрасли / Сергеева Н. А., Цивинская Т. А., Шахнов В. А. // Датчики и системы. - 2016. - № 3. - С. 32-39.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Авторы МГТУ

• Сергеева Наталья Алексеевна
• Цивинская Татьяна Анатольевна
• Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях