Подробное описание документа
Статья
Мачихин А. С.
Устройство для одновременного визуального и теплового контроля изделий микроэлектроники / Мачихин А. С., Батшев В. И. // Дефектоскопия. - 2016. - № 2. -
681.7 Оптические приборы и аппаратура