Подробное описание документа

Статья

Макеев М. О., Иванов Ю. А., Мешков С. А.
Оценка стойкости к диффузионной деструкции наноразмерных AlAs/GaAs резонансно-туннельных гетероструктур методом ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Иванов Ю. А., Мешков С. А. // Физика и техника полупроводников. - 2016. - Т. 50, № 1. - С. 83-88.

УДК
621.3 Электротехника

Авторы МГТУ

Макеев Мстислав Олегович

Иванов Юрий Александрович

Мешков Сергей Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 83-88

Журнал

Физика и техника полупроводников. - ISSN 0015-3222.
Т. 50, № 1. - 2016.

подробнее