Подробное описание документа
Статья
Макеев М. О.
Оценка стойкости к диффузионной деструкции наноразмерных AlAs/GaAs резонансно-туннельных гетероструктур методом ИК-спектральной эллипсометрии / Макеев М. О., Иванов Ю. А., Мешков С. А. // Физика и техника полупроводников. - 2016. - Т. 50, № 1. -
621.3 Электротехника