Личный кабинет
Подробное описание документа
Журнал
Микроэлектроника.
Т. 45, № 4. - 2016.
Скачать оглавление1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 252-257
Статья
Оптимизация режимов ретроградного легирования кармана КНИ МОП-транзисторов СБИС / Амирханов А. В., Волков С. И., Глушко А. А., Зинченко Л. А., Макарчук В. В., Шахнов В. А.
