Подробное описание документа

Оглавление

   Журнал

   Микроэлектроника.
   Т. 45, № 4. - 2016.

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 252-257

   Статья в журнале

   Оптимизация режимов ретроградного легирования кармана КНИ МОП-транзисторов СБИС / Амирханов А. В., Волков С. И., Глушко А. А., Зинченко Л. А., Макарчук В. В., Шахнов В. А.

подробнее