Подробное описание документа

   Оптимизация режимов ретроградного легирования кармана КНИ МОП-транзисторов СБИС / Амирханов А. В., Волков С. И., Глушко А. А., Зинченко Л. А., Макарчук В. В., Шахнов В. А. // Микроэлектроника. - 2016. - Т. 45, № 4. - С. 252-257.

УДК

621.315.592.3 Легированные полупроводники

Авторы МГТУ

• Глушко Андрей Александрович
• Зинченко Людмила Анатольевна
• Макарчук Владимир Васильевич
• Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях