Подробное описание документа
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; ред. Гуляев Ю. В. ; Томский политехнический ун-т, Московский гос. ун-т информационных технологий радиотехники и электроники (МИРЭА МГУПИ). - М. : Юрайт, 2016. - 460 с. : ил. - (Программа "Университеты России"). - Библиогр.:
Серия "Университеты России" позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов.
Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.
Книга посвяшена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры - технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами.
Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.
Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по cпeциальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектированиe и технология радиоэлектронных средств", "Конструирование и технология радиоэлектронных стредств" и "Микроэлектроника", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
621.396.6 Радиоэлектронная аппаратура. Схемы10 экз.
- Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345