Подробное описание документа

   Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакаравриата и магистратуры / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; ред. Гуляев Ю. В. ; Томский политехнический ун-т, Моск. гос. ун-т информационных технологий, радиотехники и электроники. - М. : Юрайт, 2017. - 460 с. : ил. - (Программа "Университеты России"). - Библиогр.: с. 405-406. - ISBN 978-5-534-03170-6.

Серия "Университеты России» позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры - технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов.
Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.
Учебник предназначeн для студентов вузов, обучающиxся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств", "Конструирование и технология poдиоэлектронных средств" и "Микроэлектроника", может быть полезным для студентов других специалъностей и специалистов в области paдиoтexники.

УДК

621.396.6 Радиоэлектронная аппаратура. Схемы

Предметные рубрики

• Радиоэлектронная аппаратура - Проектирование - Учебники и пособия
• Радиоэлектронная аппаратура - Производство - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания

   Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы : учебник для бакалавриата и магистратуры / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; ред. Гуляев Ю. В. ; Томский политехнический ун-т, Московский гос. ун-т информационных технологий радиотехники и электроники (МИРЭА МГУПИ). - М. : Юрайт, 2016. - 460 с. : ил. - (Программа "Университеты России"). - Библиогр.: с. 405-406. - ISBN 978-5-9916-7155-2.

Кол-во в фондах 10 экз.

подробнее