Подробное описание документа

   Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии : учебник для бакалавриата и магистратуры / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; ред. Сигов А. С. ; Московский гос. ун-т информационных технологий радиотехники и электроники (МИРЭА МГУПИ), Томский политехнический ун-т. - М. : Юрайт, 2016. - 270 с. : ил. - (Программа "Университеты России"). - Библиогр.: с. 236-238. - ISBN 978-5-9916-7153-8.

Серия "Университеты России" позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов. Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных приборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.
Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных cpeдств" и "Электронные приборы", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.