Подробное описание документа

   Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии : учебник для бакаравриата и магистратуры / Иванов В. И., Лучников П. А., Сигов А. С., Суржиков А. П. ; ред. Сигов А. С. ; Томский политехнический ун-т, Моск. гос. ун-т информационных технологий, радиотехники и электроники. - М. : Юрайт, 2017. - 270 с. : ил. - (Программа "Университеты России"). - Библиогр.: с. 236-238. - ISBN 978-5-534-03179-9.

Серия "Университеты России" позволит высшим учебным заведениям нашей страны использовать в образовательном процессе учебники и учебные пособия по различным дисциплинам, подготовленные преподавателями лучших отечественных вузов и впервые опубликованные в издательствах университетов.
Все представленные в этой серии учебники прошли экспертную оценку учебно-методического отдела издательства и публикуются в оригинальной редакции.
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных приборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектро-механических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов.
Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.
Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных cpeдств" и "Электронные приборы", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.