Подробное описание документа

   Статья

Панфилов Ю. В.
   Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. - С. 6-15.

УДК

621.01 Теория машиностроения (машиноведение). Механика как теоретическая основа машиностроения

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 6-15

   Журнал

   Справочник. Инженерный журнал.
   № 5. - 2016.

подробнее