Подробное описание документа

   Диссертация

Сидорова С. В.
   Расчёт технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких плёнок в вакууме : дис... ктн : 05.27.06 / Сидорова С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2016. - 190 л. : ил. - Библиогр.: л.159-170.

УДК

621.793.1 Нанесение покрытий и осаждение пленок вакуумным испарением и конденсацией. Вакуумная металлизация

Предметная рубрика

• Пленки - Получение - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.221л, УЛК, ауд. 221л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л