Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Сидорова С. В.
Расчет технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких пленок в вакууме : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Сидорова С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2016. - 16 с.
621.793.1 Нанесение покрытий и осаждение пленок вакуумным испарением и конденсацией. Вакуумная металлизация2 экз.![]()
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л