Подробное описание документа

   Микроструктурирование тонких плёнок : сборник статей / Академия наук СССР, Физико-технологический институт. - М. : Наука, 1991. - 110 с. : ил. - (Труды / Физико-технологический институт АН (ФТИАН) ; т. 2). - Библиогр. в конце статей. - ISBN 5-02-006817-9.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Производство
• Фотолитография

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313