Подробное описание документа

Статья

Михайлов В. П., Базиненков А. М., Селиваненко А. С.
Платформа для нанопозиционирования и активной виброизоляции / Михайлов В. П., Базиненков А. М., Селиваненко А. С. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 98-101.

УДК
533.5.08

Авторы МГТУ

Михайлов Валерий Павлович

Базиненков Алексей Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 98-101

Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. - 382 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-600-00714-7.

подробнее